Khoa Khoa học Ứng dụng

Mô phỏng chuyển động của các hạt phún xạ từ bia (target) đến đế trong hệ phún xạ magnetron DC bằng thuật toán monte carlo. 2008. Kỷ yếu hội nghị quang học quang phổ toàn quốc lần thứ V, tháng 9 năm 2008. 4. Simulation of copperthin film growth. 2009

Tóm tắt báo cáo nghiên cứu khoa học

bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm (ZnO:Al). Với độ dày màng (ZnO:Al) là 1 µm được phủ ở nhiệt độ 160 0 C, áp suất 10-3 torr trong khí Argon, điện trở đạt được của màng là 4,5.10-4 Ωm, và độ truyền qua trung bình là 86 - 87% trong vùng khả kiến. Tiếp xúc ...

Nghiên cứu chế tạo màng ito bằng phương pháp phún xạ magnetron

quang của màng ITO trong phương pháp phún x ạ magnetron DC. Màng ITO được tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm. ITO với thành phần In 2O3 + 10wt % SnO 2, với độ tinh khiết 99.99%, trên đế. thuỷ tinh trong hệ chân không Univex 450, với áp suất nền 4 x 10-6 torr, với áp.

DLC-C Ta Hệ thống lắng đọng phún xạ carbon tantali

Hệ thống lắng đọng phún xạ xung DC. Magnetron Sputtering được sử dụng rộng rãi để lắng đọng các kim loại chịu lửa như tantali, titan, vonfram, niobi, đòi hỏi nhiệt độ lắng đọng rất cao, và kim loại quý: Vàng và Bạc và cũng được sử dụng để lắng đọng các kim loại ...

Phún xạ cathode - Wikipedia tiếng Việt

Phún xạ phóng điện phát sáng một chiều (DC discharge sputtering) ... Phún xạ phóng điện phát sáng xoay chiều (RF discharge sputtering) Là kỹ thuật sử dụng hiệu điện thế xoay chiều để gia tốc cho ion khí hiếm. Nó vẫn có cấu tạo chung của các hệ phún xạ, tuy nhiên máy phát là một máy phát cao tần sử dụng dòng ...

TAÏP CHÍ PHAÙT TRIEÅN KH&CN, TAÄP 17, SOÁ T4-2014 ứ ế ạ ng phương pháp ...

bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trên một số đế khác nhau như: đế thuỷ tinh, đế PET, đế inox AISI 304 phẳng và mũi khoan thép. Trong công trình này chúng tôi nghiên cứu ảnh hưởng của khoảng cách bia - đế, thời gian phún xạ và thế hiệu dịch lên cấu trúc tinh thể, tính chất cơ học và quang học của màng ...

Nghiên Cứu Chế Tạo Màng Ito Bằng Phương Pháp Phún Xạ Magnetron

Trong phương pháp phún xạ Magnetron người ta phân ra làm hai loại là : phún xạ DC và phún xạ RF. Đối với vật liệu dẫn điện có thể dùng hai phương pháp. Phương pháp RF dùng cho vật liệu không dẫn điện 1.2. Giới thiệu màng ITO 1.2.1. Giới thiệu màng trong suốt dẫn điện (TCO)

Mô phỏng plasma phóng điện khí argon trong hệ phún xạ magnetron dc bằng ...

Mô phỏng plasma phóng điện khí argon trong hệ phún xạ magnetron dc bằng phương pháp pi mcc. pdf; 104 trang ; ðẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ðẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN VŨ HOÀNG NAM MÔ PHỎNG PLASMA PHÓNG ðIỆN KHÍ ARGON TRONG HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON DC BẰNG PHƯƠNG PHÁP PIC/MCC Chuyên ngành: Vật Lý Vô Tuyến và ...

NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG TiN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ

Semantic Scholar extracted view of "NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG TiN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ" by Magnetron Dc. Skip to search form Skip to main content Skip to account menu. Semantic Scholar's Logo. Search 205,878,366 papers from all fields of science. Search

2.1.1 Phún xạ diode dc

2.1.5 Phún xạ magnetron dc. 2.1.6 Phún xạ magnetron dc không cân bằng. 2.1.7 Phún xạ magnetron dc xung. 2.1.8 Phún xạ chùm ion và Plasma. 2.3 Quá trình truyền của các loại hơi phún xạ . 2.3.1 Nhiệt hóa. 2.3.2 Tán xạ. 2.3.3 Trực tiếp. 2.3.4 Ion hóa sau khi hóa hơi. 2.4 Ngưng tụ của hạt phún xạ. 2.4.1 Lắng đọng đơn chất và hợp kim ...

Phun Xa Magnetron RF | PDF - Scribd

Ki thuat phun xa by tnguyen_797821. Open navigation menu. Close suggestions Search Search

Tạo màng bằng phương pháp phún xạ MAGNETRON DC

Luận Văn Tạo màng bằng phương pháp phún xạ MAGNETRON DC. Thảo luận trong 'Hóa Học' bắt đầu bởi Thúy Viết Bài, 5/12/13. Thúy Viết Bài New Member. Thành viên vàng. Bài viết: 198,891 Được thích: 140 Điểm thành tích: 0 Xu: 0$ ...

Phún xạ magnetron thực nghiệm và phương pháp nghiên cứu

Phún xạ magnetron thực nghiệm và phương pháp nghiên cứu

Phương pháp phún xạ magnetron trong chế tạo màng mỏng

Phương pháp phún xạ magnetron trong chế tạo màng mỏng. Phún xạ (Sputtering) là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động ...

Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất ...

DC trong phún xạ màng mỏng 14 Hình 2. 1 Sơ đồ thiết bị phún xạ xung 18 Hình 2. 2 Cấu hình magnetron cân bằng (a) và không cân bằng (b) 19 Hình 2. 3 Hình ảnh một số loại đầu phún xạ magnetron thương mại 20 Hình 2. 4 Bản vẽ lắp các chi tiết của đầu phún xạ magnetron 21

Nguồn MDX - Nguồn Công Nghiệp

Quy định chặt chẽ, công nghệ dập tắt hồ quang vượt trội, tiên tiết và năng lượng đầu ra được lưu trữ thấp khiến bộ nguồn DC dòng MDX trở thành bộ nguồn cung cấp thiết bị phún xạ dẫn đầu trong ngành chết tạo màng mỏng ứng dụng công nghệ phún xạ (sputtering process). Dành cho mục đích sử dụng liên ...

máy sơn phún xạ magnetron nhà máy sản xuất, mua chất lượng tốt máy sơn ...

Mua giá thấp máy sơn phún xạ magnetron từ máy sơn phún xạ magnetron nhà máy sản xuất, Chúng tôi cung cấp chất lượng tốt máy sơn phún xạ magnetron từ Trung Quốc. Zhaoqing Dali Vacuum Equipment Co., Ltd. doanh số bán hàng Yêu cầu báo giá ...

Vật Lý Hơi Lắng Đọng (pvd) Quá Trình Phún Xạ Màng Mỏng Lắng Đọng Thiết ...

DC phún xạ magnetron lớp phủ máyThường được sử dụng cho trực tiếp phún xạ lớp phủ cho khác nhau chất nền, ... Các phát triển và commercialisation của phần mềm có thể cho phép các riêng biệt mô hình của phún xạ magnetron là ràng buộc để tăng cường của nó năng suất, khả năng áp dụng, và khả năng tái. T ...

Nghiên cứu chế tạo màng ito bằng phương pháp phún xạ magnetron

Download miễn phí Tiểu luận Nghiên cứu chế tạo màng ito bằng phương pháp phún xạ magnetron MỤC LỤC Chương 1. TỔNG QUAN. . . 3 1.1. Giới thiệu sơ lược về phương pháp tạo màng dẫn điện trong suốt . 3 1.1.1. Các phương pháp . . . 3 1.1.2. Phương pháp phún x ạ magnetron DC . . 3 1.2 ...

Phương Pháp Phún X Ạ Magnetron Rf Trong Chế Tạo Màng Mỏng

Hình 5 : Ả nh chụ p thiế t bị sputtering Univex 450 tạ i tr ư ờ ng Đạ i họ c Khoa họ c Tự nhiên, Đạ i họ c Quố c gia Hà Nộ i III. PHƯ Ơ NG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF TRONG CHẾ TẠ O MÀNG MỎ NG 1. Giớ i thiệ u RF-Magnetron Sputter là mộ t kỹ thuậ t tạ o màng mỏ ng (Thin films) hiệ u ...

Ứng dụng Phún xạ Magnetron là gì?

MAGNETRON SPUTTERING là kỹ thuật phún xạ (sử dụng cả với xoay chiều và một chiều) cải tiến từ các hệ phún xạ thông dụng bằng cách đặt bên dưới bia các nam châm được sắp xếp có chủ đích. Từ trường của nam châm có tác dụng bẫy các điện tử vào trong vùng gần bia nhờ đó làm tăng hiệu ứng ion hóa do ...

Lắng đọng Sputter

Lắng đọng nổ lách tách là một Công nghệ PVD phương pháp (PVD) của màng mỏng lắng đọng bởi thổi . Điều này bao gồm các tài liệu ejecting từ một "mục tiêu" đó là một nguồn vào một "bề mặt" như một silicon wafer . Resputtering là sự phát xạ lại vật liệu lắng đọng trong quá trình lắng đọng bằng cách bắn ...

Phương pháp phún xạ magnetron DC - nghiên cứu và chế tạo màng dẫn điện ...

Phương pháp phún xạ magnetron DC. Một phần của tài liệu NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZNO PHA TẠP VANADIUM BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐỒNG PHÚN XẠ (Trang 31 -96 ) 2.1.1. Hệ magnetron phẳng [5, 17]. Bộ phận chính của hệ phún xạ magnetron phẳng là một hệ nam châm được bố trí khép kín để tạo bẫy từ. Bẫy ...

Tạo màng bằng phương pháp phún xạ MAGNETRON DC

Tài liệu "Tạo màng bằng phương pháp phún xạ MAGNETRON DC" có mã là 293161, file định dạng zip, có 23 trang, dung lượng file 5,865 kb. Tài liệu thuộc chuyên mục: Luận văn đồ án > Khoa học tự nhiên > Hóa học. Tài liệu thuộc loại Bạc. Nội dung Tạo màng bằng phương pháp phún xạ MAGNETRON DC . Trước khi tải bạn có thể ...

(PDF) Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính ... - ResearchGate

PDF | On Jul 30, 2007, Mỹ Dung Thị Cao and others published Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron ...

Magnetron Sputtering: Types of coating processes and Advantages

The pulsed magnetron sputtering (PMS) process has been purposely developed to overcome these problems, and thus for the production of highly insulating films. By pulsing the magnetron discharge in the medium frequency range (10-200 kHz) the formation of arcs can be strongly reduced, leading to better deposit quality, while achieving ...

II.1 Hệ máy phún xạ tạo màng - Tài liệu text

Hình 3.2: Bố trí nam châm trong hệ magnetron không cân bằng Tùy vào tính chất quan hệ giữa màng-đế mà ta dùng hệ Magnetron tương ứng. Có 2 hệ Magnetron phổ biến hiện nay : Magnetron cân bằng và Magnetron khơng cân bằng. 20 II.2.2 Hệ magnetron cân bằng. Hình 1.12: Hệ magnetron cân bằng.

Phương Pháp Phún Xạ Magnetron Rf Trong Chế Tạo Màng M

Sơ đồ hệ phóng điện cao áp một chiều (DC-sputter) 2. Phún xạ phóng điện xoay chiều (RF discharge sputtering) Là kỹ thuật sử dụng hiệu điện thế xoay chiều để gia tốc cho iôn khí hiếm. Nó vẫn có cấu tạo chung của các hệ phún xạ, tuy nhiên máy phát là một máy phát cao tần sử dụng dòng điện tần số sóng vô ...

CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

Hình 3.8: Bia đã được phún xạ 3.2 Hệ tạo màng trong quá trình phún xạ Hệ tạo màng phún xạ magnetron DC tại phòng thí nghiệm của bộ môn Quang Học Ứng Dụng, khoa Vật lý-Vật Lý Kỹ Thuật trường đại học Khoa Học Tự Nhiên Thành Phố Hồ Chí Minh. Hệ phún xạ có sơ đồ ...

Phương pháp phún xạ magnetron rf trong chế tạo màng mỏng

I. PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ I.1 Phún xạ là gì ? I.2 Hệ số phún xạ I.3 Phún xạ Magnetron II. PHÚN XẠ MAGNETRON RF II.1 Khái niệm II.2 Cấu tạo II.3 Sơ đồ hoạt động II.4 Nguyên tắc hoạt động III. KHÓ KHĂN TRONG PP RF IV. SO SÁNH PHÚN XẠ MAGNETRON RF VỚI DC